题目

在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP,将得到的灯光用()聚光,然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。

A、凸透镜

B、凹透镜

C、聚光镜

D、平光镜

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A.单晶硅

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对于铸造多晶硅氧浓度越(),钝化效果越(),少数载流子寿命增加越()

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B、低,好,少

C、低,差,多

D、高,好,多

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